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                白光干涉薄膜厚度测量仪Delta
                白光干涉薄膜厚度测量仪Delta
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                产品特点

                快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

                应用案例

                应用领域? ? ? ??? ? ? ? ? ? ? ??


                半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)、LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)?、LED (SiO2、光刻胶ITO等)、触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)?、汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)、医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

                技术参数

                型号

                Delta-VIS

                Delta-DUV

                Delta-NIR

                波长范围

                380-1050nm

                190-1100nm

                900-1700nm

                厚度范围

                50nm-40um

                1nm-30um

                10um-3mm

                准确度1

                2nm

                1nm

                10nm

                精度

                0.2nm

                0.2nm

                3nm

                入射角

                90°

                90°

                90°

                样品材料

                透明或半透明

                透明或半透明

                透明或半透明

                测量模式

                反射/透射

                反射/透射

                反射/透射

                光斑尺寸2

                2mm

                2mm

                2mm

                是否能在线

                扫描选择

                XY可选

                XY可选

                XY可选

                注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

                ? ? ? ?2.?可选微光斑附件。


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